单晶炉相关论文
降低单晶硅电池的生产成本,是提高光伏产业效益的关键。在等径拉晶过程中,采用分段加热可以减少加热器的输出功率,降低加热系统的......
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直拉法硅单晶生长是一个多场多相耦合、物理变化复杂,且具有大滞后和非线性现象的过程,基于单晶硅生长系统内部机理所构建的机理模......
【摘要】以“单晶炉热场结构的认知”作为研究范例,从教学目标、教学内容、教学手段、教学策略和教学过程设计等方面阐述了该课的信......
采用垂直梯度凝固(VGF)法生长单晶时,其温度梯度较低,生长速率较小,目前已成为生长大直径、低位错密度晶体的主流技术之一。在VGF......
本文以单晶炉拉晶过程中的自由液面为研究对象,主要进行了两方面的研究:单晶炉拉晶过程中自由液面的温度效应分析;基于粒子群算法的有......
随着半导体技术日新月异的发展,计算机、通讯技术等行业发生了根本改变,有力地推动了当今IT产业的发展。而这些重大改变都是因为半导......
随着单晶硅在各种高技术领域应用的不断推广,对单晶硅的需求量在不断增加,对其质量的要求也是越来越高。直拉单晶炉等径控制性能的......
本文主要研究单晶炉勾形磁场及其励磁电源的设计。采用有限元对8英寸单晶炉勾形磁场进行建模、仿真,对勾形磁场的磁场强度、磁场分......
近年来,半导体晶体直径朝着大型化的方向发展,晶体的直径逐渐从6英寸发展到12英寸。晶体直径的大型化发展成为当前的主流趋势。生......
熔体生长方式中的直拉法是目前生产单晶硅材料的主要方式。西安理工大学设计的新型网络化单晶炉控制系统,主控制器是以PLC为核心的......
光伏发电以绿色、可再生、能源质量高和不受资源分布地域的限制等优点被广泛使用,单晶硅又以低衰减率和高转换效率等优点渐渐超过......
你注意观察过机械手表吗?在它的盘面上,可以看到“17钻”或者“19钻”等字样。这是表示,手表里有17粒或19粒钻石。钻石,原来是指金刚石......
重掺锑硅单晶制备中锑的蒸发速率常数的测定常青,曾世铭,何林,王君毅(北京有色金属研究总院100088)关键词:硅单晶,锑,掺杂,蒸发速率,测定(一)实验重掺......
用Bi2O3作自助熔剂,对Bi2212单晶的生长特点作了较为细致的实验研究.就助熔剂含量、热循环、坩锅的污染、熔体的非共熔性、各向异性生长速度以......
许多氧化物单晶的生长都需要很高的温度和高于大气压的氧气氛。通常作为高温炉发热体的石墨、钼、钨等只能在还原性气氛中工作。......
引言砷化镓是重要的半导体材料,最近几年发展很快。为了加速我国电子工业的发展,早日实现四个现代化,对砷化镓的现状进行综合讨论......
不纯的硅体,是由石英砂在电弧炉中与焦炭反应还原而制得,铁是硅体中主要的杂质,如果去铁,则需把硅体与盐酸反应,生成三氯氢硅,然后......
摘 要:单晶炉功率柜使用水冷电缆连接加热器电极,水冷电缆由中心的冷却水管、周围的导线、导线外橡胶管等组成,其内部热量较大,表面热......
在直拉法中,熔硅液面的位置对晶体的生长品质具有重要影响,为了维持晶体生长过程中熔硅液面位置的稳定,必须对熔硅液面位置进行实时精......
随着磷化铟单晶材料在民用及军用领域的广泛应用,磷化铟单晶的制备也变得越来越重要,尤其是大尺寸高纯度磷化铟单晶的制备更能受到......
学位
随着光伏产业和信息产业的快速发展,全世界对制造太阳能电池和集成电路的基础性材料单晶硅的需求量在不断加大,同时对单晶硅的品质和......
单晶炉是生长大规模集成电路所需要硅单晶的专用设备。本文主要介绍了单晶炉的真空系统与充气系统的设计。
Single crystal furna......
炉室是单晶炉的中心环节,内置坩埚、晶体材料、加热系统和保温罩等。直拉法是在半导体领域中应用最广,产量最大的单晶制备方法。本......
本文重点分析了单晶炉的二次加料过程的衍变,对每种加料方式的优劣都实现了研究,同时指出单晶炉二次加料以后的发展方向.......
本文对有源滤波器在光伏行业中的应用进行了阐述,介绍了有源滤波器的原理及HTQF有源滤波器的技术优势,并对HTQF有源滤波器的应用效......
从改进斜入射斜接收式激光三角法的光路系统角度出发,提出了一种对液面反射光线采用线性光学放大的光路设计,将液面微小位移变化线......
这里介绍了炉室上升式 BS法单晶炉的设计思路及工作原理,结合晶体生长的特殊工艺要求,分析了其主要结构及特点.......
单晶炉是一种在以高纯氩气为主的惰性气体环境中,用石墨热场加热,将多晶硅材料加以熔化,用直拉法生长单晶硅的设备,在太阳能单晶硅......
本文介绍了一种实用的单晶硅生产的速度控制系统,该系统具有结构简单、造价低的特点,实测表明,系统的性能满足生产要求,现已投入批......
对传统的单晶炉加热电源进行了改进和升级,将数字控制器80C196KB融入到单晶炉加热电源的控制当中,利用模拟技术、微机控制技术实现了......
单晶炉提拉装置是提拉法生长晶体的关键设备,由于激光晶体生长机理决定了其生长速度非常缓慢。提拉装置要求长期运行在超低速的状......
分析了增设高承台支座的单晶炉的自振特性.根据设备对环境振动的高要求,首先分析并计算环境振动对其影响,给出振动加速度反应谱曲......
针对单晶硅生长过程中的直径测量,提出了一种基于CCD摄像头的不完整圆直径测量算法。首先利用CCD摄像头透过隔热设施俯拍单晶,获取到......
在单晶硅生产过程中,对单晶硅坩埚旋转速度有十分严格的要求。针对实际情况,本文采用神经网络自适应PID控制算法,通过80C196KB单片机......